仪器型号:JSM-7500F
生产单位:日本电子
安装时间:2009.12
性能指标:
1.分辨率:1.0nm(15KV),1.4nm(1KV);
2.放大倍数:25×-1,000,000×;
3.样品台:大尺寸、超级对中样品台X=70mm,Y=50mm,可进行5-70°倾斜,360°旋转角,五轴马达驱动;
4.能谱仪(EDS)能量分辨率136eV,分析元素范围5B-92U。
主要附件:
冷场发射灯丝;场发射扫描专用能谱仪INCA SEM 250;试样表面处理器(喷金、喷碳)。
基础应用:
1.金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物等材料的显微形貌,晶体结构和相组织的观察与分析;
2.各种材料微区化学成分的定性分析;金属材料牌号的确定;
3.机械零部件的失效分析;
4.粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定;
5.复合材料界面特性的研究。